多晶硅以单质硅的形式存在,在过冷条件下凝固时以金刚石晶格的形式排列成许多晶核。众所周知,多晶硅是太阳能电池的重要原料。随着新能源的发展,硅加工企业也在迅速发展。
今天,就如何处理多晶硅加工厂的废水,对废水处理做一个简单的说明:
半导体多晶硅加工厂废水处理的难点主要有以下几点:
1. 废水中的主要污染物有氢氟酸、硅粉、碳化硅、聚乙二醇等。
2、废水的bodd和cod含量高;
3、富含副产物——四氯化硅,而四氯化硅是剧毒物质;
因此,在多晶硅加工废水的处理中,往往需要采用组合工艺。多晶硅加工厂的废水处理流程大致如下:
多晶硅加工废水处理系统中设置调节池,对多晶硅加工废水进行收集,并对水质、水量进行均质。然后进入助凝沉淀池,加入水处理剂将泥水分离,分离出来的上清液进入后续的催化氧化池。在催化氧化池中进行生化处理。采用臭氧-双氧水联合催化氧化技术改善废水的生化性能。催化氧化后的废水进入水解酸化池。通过水解池中的水解酸化过程,大分子有机物被水解成小分子有机物,小分子有机物容易被后续的好氧细菌降解。从而大大提高了废水的可生化性和生化去除效果,好氧段COD去除率较高。
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