半导体碳化硅主要由生产绿色碳化硅需要加入盐木屑、石英砂、石油焦(或煤焦)等原料通过电阻炉高温冶炼而成,通常称为难熔砂或金钢砂,是一种无机物,在加工过程中会产生大量的工业废水,下面来了解一下关于半导体碳化硅污水的处理方法。
半导体碳化硅废水切削液耗水量大,C0D浓度高且悬浮物较多,主要含有金属离子、金属离子、水玻璃、聚乙二醇等污染物,在碳化硅污水处理过程中也是碳化硅粉体回收过程。
半导体废水处理中去除废金属、聚乙二醇、多晶硅等杂质的同时也是回收碳化硅的回收工艺,既保护了环境又节约了资源。
碳化硅污水可采用化学处理、物理处理、生化处理三种处理方式,由于悬浮物较多,一般都会采用沉淀的方式,不同污水成分中添加的水处理剂也不一样。
将碳化硅处理污水送入沉淀池进行自然沉淀分离,沉淀池水进入膜分离池,通过膜设备进行分离浓缩,超滤膜过滤操作压力控制在0.1-0.6MPa,反冲洗每20分钟进行2分钟,反冲洗控制反冲洗水或膜膨胀至正压0.2kg/c平方米,以恢复超滤膜的过滤通量。膜分离罐内的浓缩液经脱水机脱水,滤液送回膜分离罐内,滤饼作为副产物回收销售。膜设备上清液用于车间生产。
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